UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。
UNIPOL-1260真空加熱調(diào)壓研磨拋光機(jī)可用于對(duì)于人工晶體、陶瓷、紅外光學(xué)材料(如硒化鋅、硫化鋅、硅、鍺等晶體)、石英玻璃、巖石等材料的研磨拋光,以及白寶石、藍(lán)寶石等硬脆性材料的研磨拋光。本機(jī)載樣盤采用真空吸附方式,研磨盤可加熱至150℃,且溫度可控。
UNIPOL-1500M-16自動(dòng)壓力研磨拋光機(jī)主要用于材料研究領(lǐng)域。適用于金屬、陶瓷、玻璃、紅外光學(xué)材料(如硒化鋅、硫化鋅、硅、鍺等晶體)、巖樣、礦樣、復(fù)合材料、有機(jī)高分子材料等材料樣品的自動(dòng)研磨拋光,也可用于工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。該機(jī)具有加工精度高,性能穩(wěn)定可靠,操作簡(jiǎn)單,適用范圍廣的特點(diǎn)。
UNIPOL-800M多點(diǎn)機(jī)械壓力研磨拋光機(jī)采用三點(diǎn)機(jī)械彈簧加壓,頂柱在壓力彈簧的作用下將載物盤中的樣件壓在旋轉(zhuǎn)的磨拋盤上,使樣件在一定壓力下隨著盤的移動(dòng)進(jìn)行研磨拋光,從而實(shí)現(xiàn)樣件定位與磨拋。還特別設(shè)有一個(gè)機(jī)械支撐臂磨拋工位,可進(jìn)行易解理、易破碎材料的磨拋,磨拋樣品的過(guò)程中,固定有樣品的重力載物盤隨著機(jī)械擺臂的擺動(dòng)進(jìn)行磨拋,
UNIPOL-1200M自動(dòng)壓力研磨拋光機(jī)主要用于材料研究領(lǐng)域,廣泛使用于各大專院校、科研院所實(shí)驗(yàn)室的金屬、陶瓷、玻璃、紅外光學(xué)材料(如硒化鋅、硫化鋅、硅、鍺等晶體)、巖樣、礦樣、復(fù)合材料、有機(jī)高分子材料等材料樣品的自動(dòng)研磨拋光,尤其適用于研磨經(jīng)鑲嵌后呈圓柱狀的小塊樣品,另可用于鋯石測(cè)年靶材制備以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)等。